一維微鏡芯片	?芯片型號	芯片尺寸/mm	鏡面尺寸/mm?	機械角度/°	驅動電壓/V	一階固有頻率/Hz	功耗/mW	響應時間/ms
	FI-S14	4.7×3.1×0.45	1.4×1.4	±15	35~45	1~2k	—	—	下載
	FI-S30	4×7×0.45	2.5×3	±15	40~45	400~500	—	—	下載
	FI-S25.4	6×3.7×0.95	2×2	±15	60~120	1.4~1.5K	—	—	下載
	LS-T25.1	3×4×0.4	?2.5	3.5	4	900~1000	130~140	4~6	下載
	LS-T25.2	3×4×0.4	?2.5	6.5	6	700~800	150~160	8~10	下載
	OC-T09	1.9×1.9	0.9	0.5	6	2000	—	＜2ms	下載