垂直大位移微鏡芯片 | ?芯片型號 | 芯片尺寸/mm | 鏡面尺寸/mm? | 機械角度/° | 驅動電壓/V | 一階固有頻率/Hz | 功耗/mW | 響應時間/ms | |
SA-F14.1 | 11.4×3.65×0.4 | 1.2×1.4 | 330um | 8 | 600~700 | 730 | 35~45 | 下載 | |
SA-F14.2 | 11.4×3.65×0.4 | 1.2×1.4 | 220um | 10 | 650~800 | 350 | 5~15 | 下載 | |
SA-F14.3 | 3.75X2.5 | 1.2X1.4 | 170um | 15 | 660~830 | 50~55 | 140~200 | 下載 | |
SA-F14.3 | 3.75X2.5 | 1.2X1.4 | 200um | 16 | 530~630 | 50~55 | 100~150 | 下載 |