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      多自由度微動平臺
      ?芯片型號
      芯片尺寸/mm
      鏡面尺寸/mm?
      機械角度/°
      驅動電壓/V
      一階固有頻率/Hz
      功耗/mW
      響應時間/ms
      
    
                
    
                
      MS
      1.35×1.55×0.4
      0.55×0.55
      ±4
      4
      2.3~2.6k
      15~16
      3~5
      下載
    
                
  
                


                

精品国产一区二区三区久久久久久

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