多自由度微動平臺
?芯片型號
芯片尺寸/mm
鏡面尺寸/mm?
機械角度/°
驅動電壓/V
一階固有頻率/Hz
功耗/mW
響應時間/ms
MS
1.35×1.55×0.4
0.55×0.55
±4
4
2.3~2.6k
15~16
3~5
下載
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