該系列芯片有共振掃描和準靜態偏轉兩種工作模式，準靜態模式可實現0~±1~±6°不同角度機械偏轉。微鏡鏡面 尺寸0.3~3mm，表面鍍鋁，對可見光光源有良好的反射率。該系列芯片可應用于雙軸光開關、激光雷達、醫學成像 等領域。
小尺寸
驅動電壓小
偏轉角度大
功耗低
掃描頻率
高線性驅動
兩軸對稱
無靜電及電磁干擾
雙軸光開關
激光雷達
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