微文MEMS光學探頭采用光學掃描微鏡技術，可與多種光學成像技術結合，應用于各種狹小空間，進行實時、快速、高分辨的三維成像。該探頭由光纖、格林透鏡、MEMS微鏡、套管和基座等元器件組成。根據不同的應用需求，可定制為側掃、側前掃、前掃和環掃等多種掃描方式，直徑≥2.5mm。
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