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    微文MEMS微干涉模塊是利用MEMS微鏡設計的一款
邁克爾遜干涉儀，可以實現各種光干涉。

                

干涉模塊中使用的反射均采用MEMS技術設計加工，
驅動微鏡的電壓低、諧振頻率高、抗沖擊力強、可
實現三維調節，方便使用。
                
  
                

                


                




                
  
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