微文MEMS陣列芯片分為一維線陣和二維矩陣兩種，目前已開發的一維線陣微鏡包括1*20的WSS波長選擇開關， 二維微鏡矩陣包括8*8和20*20大陣列光交叉互聯（OXC)芯片，其驅動電壓小于10V，芯片偏轉角度可達±10°。
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小尺寸
多通道
偏轉角度大
功耗低
響應快
OXC
WSS
光通信