該系列芯片有共振掃描和準靜態偏轉兩種工作模式,共振掃描最大可實現±15°機械偏轉,準靜態模式最大可實現 6.5°機械偏轉。微鏡鏡面尺寸達2.5~3mm,表面鍍鋁或金,對可見光至紅外光不同波長光源均有良好的反射率。該 系列芯片可應用于3D人臉識別、激光雷達、醫學成像、機器視覺等領域。
多種尺寸芯片
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