MEMS多維度微動平臺是利用MEMS執行器驅動平臺以及所載物體在多個維度上實現移動。伴隨各類系統不斷集成化， 小型化的，以及精度，可靠性等性能要求的不斷提高，MEMS微動平臺以其體積小，精度高，功耗低，速度快等優勢 在各個領域中有著極為廣闊的應用場景。

所涉及領域覆蓋光學成像，光學通訊，生物檢測等，并可在無人機， 視頻監控，虛擬現實，增強現實，基因工程，5G，智能穿戴等一系 列應用中起到關鍵作用。

微文微動平臺可以實現5維驅動（面內二維+面外三維），結合電熱 與靜電兩種驅動方式，可根據具體應用需求搭配不同執行器，可實 現高精度（納米級），大位移（毫米級），低功耗，高填充率，小 尺寸，高速多維微動平臺。

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  MEMS微動平臺可驅動圖像傳感器用于光學圖像防抖， 從硬件上根本解決圖像抖動問題
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  MEMS微動平臺也可來驅動透鏡，實現光學變焦
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  MEMS微動平臺還可用于掃描探針顯微鏡，實現對樣本 的高速成像。